“东方晶源国内首台关键尺寸量测设备（CD”

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最近，国内半导体制造成品率管理设备制造商东方晶源在北京总部举行了国内首个关键尺寸测量设备( cd-sem )的发货仪式，并宣布了正式剪订单发货的中芯国际。 东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海、北京市经信委员会、亦庄管委会、国家02专项及东方晶源客户、股东、投资方等代表出席了本次活动，共同见证了这一重要时刻。 此次上市仪式表明，东方晶源在2019年克服电子束缺陷检测技术后，再次取得重大产品技术突破，填补了国内重要尺寸测量设备( cd-sem )的市场/(/k0/)小白。

此次上市的主要尺寸测量装置(型号: sepa-c410 ) )面向300mm硅芯片的工艺工序，将先进的电子束成像系统、高速硅芯片传输方案和精确的测量算法结合，实现了高重复精度、高分辨率和高生产能量 进入中芯国际后，通过实际生产线的验证，进一步提高和完善设备性能，朝着产业化目标整体前进。

中芯国际是世界领先的集成电路晶圆代理公司之一，是中国内地技术最先进、组合最完整、规模最大的集成电路制造公司集团，提供0.35微米至14纳米不同技术节点的晶圆代理和技术服务，先进工艺探索 东方晶源在第一批电子束缺陷检测设备进入中芯国际生产线后，第一批关键尺寸测量设备得以进入中芯国际12英寸生产线验证，其研发实力已得到领域高度认同，证明是我国集成电路制造自主控制的重要组成。

东方晶自创立以来，集中于芯片制造关键环节的成品率控制和行业的提高。 在北京市经信委、亦庄管委会、合作伙伴、投资者的共同支持下，关键产品技术不断突破，企业旗下的计算石墨系列软件( opc )、电子束缺陷检测设备) ebi )已经成为国际大制造商的生产线 此次上市，东方晶源在成品率控制产品线中增加了重要的一环，也处理了中国芯片制造行业的另一个“绞杀”难题。 中芯国际和东方晶源作为各自行业的优秀代表，进一步加强了战术合作关系，是半导体产业链上下流产研和应用合作的典范。

目前半导体设备市场被海外巨头垄断，领域集中度高，成为我国半导体产业被“紧扣”的关键。 因为这种国产化替代对国家科技创新至关重要。 董事长东方晶源俞宗强表示，国产半导体设备的高速发展，不仅需要在国家政策、研发资金、人才培养等方面的巨大投资，还需要晶片代理工厂的实际采用和验证。 目前，东方晶源已与国内大部分市场影响较大的晶片代理公司建立了合作关系。 未来，越来越多的晶圆代工公司将对国产设备制造商保持更加开放的态度，为高质量的国产芯片设备供应商提供验证技术、实现产业化的平台，共同突破海外技术垄断，推进我国半导体产业链的全面自主控制，携手半导体行业的战术雷

来源：企业信息港